Zur Vakuumerzeugung werden neben einstufigen Wasserstrahl-, Gasstrahl- und Dampfstrahl-Vakuumpumpen vor allem mehrstufige Dampfstrahl-Vakuumpumpen eingesetzt. Als Treibmittel wird überwiegend Wasserdampf – in Sonderfällen auch verfahrensabhängig Produktdampf- verwendet. In diesen Systemen werden Treib- und Saugdämpfe bei möglichst geringen Drücken in Mischkondensatoren oder Oberflächenkondensatoren kondensiert, um den Energieeinsatz für die weitere Verdichtung gering zu halten. Durch den Einsatz von mehrstufigen Dampfstrahl-Vakuumpumpen sind absolute Saugdrücke von 0,01 mbar zu erzielen.

In Hybridsystemen werden Strahlpumpen mit mechanischen Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen kombiniert, um die Vorteile beider Pumpentypen in einem System zu vereinen.

Das Eis / Trockenkondensations-Vakuumsystem verzichtet auf vorgeschaltete Strahlpumpen und gefriert statt dessen die Saugdämpfe in einem auf tiefe Temperatur gekühltem "Kondensator". Dieses, für minimalen Energiebedarf und maximale Umweltschonung, entwickelte Verfahren wird bei der Wasserdampf-Destillation von Speiseöl (Desodorierung), der Gefriertrocknung und der Lösemittelrückgewinnung eingesetzt.

Speziell für Anwendungen in der Speiseölindustrie werden weitere umweltschonende Systeme, wie z.B. Alkalikreislaufsysteme (Kaltwasserbetrieb / Kühlwasserbetrieb) eingesetzt. Diese geschlossenen Systeme werden u.a. betrieben, um die Abwassermenge zu minimieren.